负压气锁：气锁室位于压力最低处，气流由外向气锁室流入。用于分隔不同区域之间的气流。作用：既保护产品，又保护其他区域不被污染，防止
2023-12-01综合专业知识
负压气锁：气锁室位于压力最低处，气流由外向气锁室流入。用于分隔不同区域之间的气流。作用：既保护产品，又保护其他区域不被污染，防止洁净区含产品空气外溢
A.正确
B.错误
正确答案是A
负压气锁：气锁室位于压力最低处，气流由外向气锁室流入。用于分隔不同区域之间的气流。作用：既保护产品，又保护其他区域不被污染，防止洁净区含产品空气外溢
A.正确
B.错误
正确答案是A