集成度
集成度
【正确答案】:指在一定尺寸的芯片上能制作出的晶体管等电子元器件或门电路的数目N(简单地说就是单块芯片上所容纳的元件数目)【初期N<100为小规模集成电路;60年代中期1001000,为大规模集成电路;80年代N>10万个,进入超大规模集成电路。衡量集成电路的另一个指标是线宽(集成电路的线宽通常可理解为所加工的电路图形中最小线条宽度),90年代已经达到0.3-0.5微米。光刻技术改进或可达0.13微米,下一代光刻技术突破传统的光刻技术障碍:EUV(ExtremeUltraViolet超紫色或极度紫外线辐射)蚀刻技术使最小线宽达30nm,即0.03微米。线宽为1微米时,集成度可高达数万至百万级;当线宽小于1微米时,集成度可高达4兆~64兆百万信息量。】